西安奕斯伟申请外延硅片缺陷识别方式及安拆、
金融界2025年1月16日动静,国度学问产权局消息显示,西安奕斯伟材料科技股份无限公司、西安奕斯伟硅片手艺无限公司申请一项名为外延硅片的缺陷识别方式及安拆、制制方式的专利,
金融界2025年1月16日动静,国度学问产权局消息显示,西安奕斯伟材料科技股份无限公司、西安奕斯伟硅片手艺无限公司申请一项名为外延硅片的缺陷识别方式及安拆、制制方式的专利,
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金融界2025年1月16日动静,国度学问产权局消息显示,西安奕斯伟材料科技股份无限公司、西安奕斯伟硅片手艺无限公司申请一项名为“外延硅片的缺陷识别方式及安拆、制制方式”的专利,公开号CN 119297100 A,申请日期为2024年9月。专利摘要显示,本发现供给了一种外延硅片的缺陷识别方式及安拆、制制方式,属于半导体系体例制手艺范畴。外延硅片的缺陷识别方式,包罗:测试衬底硅片的Nano数值;将衬底硅片放入外延发展设备中进行外延发展,获得外延硅片;将外延硅片的概况划分为多个区域,将外延硅片的缺陷取外延发展设备的支持杆的进行婚配;若是婚配,本发现可以或许正在外延发展过程中及时检测到Pin Nano缺陷的发生,降低出产资本的华侈。天眼查材料显示,西安奕斯伟材料科技股份无限公司,成立于2016年,位于西安市,是一家以处置计较机、通信和其他电子设备制制业为从的企业。企业注册本钱350000万人平易近币,实缴本钱350000万人平易近币。通过天眼查大数据阐发,西安奕斯伟材料科技股份无限公司共对外投资了5家企业,参取招投标项目3次,专利消息1087条,此外企业还具有行政许可24个。